ICS13.100CCSH09团体标准T/CCSAS052—2025三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范Safetytechnicalspecificationsforpolysiliconproductionby...
IC�29.045CCSII83中华人民共和国国家标准2023-08-06发布硅外延用三氯氢硅TrichlorosilaneforsiliconepitaxialGB/T30652一2023代替GB/T3065...
GB／T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅.pdf
书����������������������������������������������������������������...
