ICS77.040.99H26中华人民共和国国家标准GB/T31351—2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法Nondestructivetestmethodformicropipedensit...
书犐犆犛29.045犎80中华人民共和国国家标准犌犅/犜4058—2009代替GB/T4058—1995硅抛光片氧化诱生缺陷的检验...
书犐犆犛29.045犎80中华人民共和国国家标准犌犅/犜6624—2009代替GB/T6624—1995硅抛光片表面质量目测检验方...
ICS29.045H82中华人民共和国国家标准GB/T29506—2013300mm硅单晶抛光片300mmpolishedmonocrystallinesiliconwafers2013-05-09发布2014-02-0...