SJ 21168-2016 MEMS惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求.pdf
SJ 21165-2016 MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求.pdf
JIS C 5630-30-2020 マイクロマシン及びMEMS - 第30部:MEMS圧電薄膜の電気機械的変換特性の測定方法.pdf
JIS C 5630-28-2020 マイクロマシン及びMEMS - 第28部:MEMSエレクトレット振動発電デバイスの性能試験方法.pdf
ICS31.080.99CCSL59中华人民共和国国家标准GB/T44531—2024微机电系统(MEMS)技术基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范Micro-electromech...
书����������������������������������������������������������������...
书����������������������������������������������������������������...
书����������������������������������������������������������������...
书����������������������������������������������������������������...
ICS31.080.99CCSL59中华人民共和国国家标准GB/T44531—2024微机电系统(MEMS)技术基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范Micro-electromech...
书����������������������������������������������������������������...
书����������������������������������������������������������������...
书����������������������������������������������������������������...
书����������������������������������������������������������������...
JIS C 5630-30-2020 マイクロマシン及びMEMS - 第30部:MEMS圧電薄膜の電気機械的変換特性の測定方法.pdf
JIS C 5630-28-2020 マイクロマシン及びMEMS - 第28部:MEMSエレクトレット振動発電デバイスの性能試験方法.pdf
书����������������������������������������������������������������...

