ICS77.040CCSH21中华人民共和国国家标准GB/T32278—2025代替GB/T30867—2014,GB/T32278—2015碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法Testmethodf...
ICS77.040H21中华人民共和国国家标准GB/T32278—2015碳化硅单晶片平整度测试方法Testmethodforflatnessofmonocrystallinesiliconcarbidewaf...
ICS77.040CCSH21中华人民共和国国家标准GB/T30868—2025代替GB/T30868—2014,GB/T31351—2014碳化硅单晶片微管密度测试方法Testmethodformi...
ICS29.045H83中华人民共和国国家标准GB/T30868—2014碳碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法Testmethodformeasuringmicropipedensityofmon...
ICS29.045H83中华人民共和国国家标准GB/T30867—2014碳碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法Testmethodformeasuringthicknessandtotalthic...
ICS29.045H83中华人民共和国国家标准GB/T30866—2014碳碳化硅单晶片直径测试方法Testmethodformeasuringdiameterofmonocrystallinesiliconc...
书犐犆犛29.045犎82�����������犌犅/犜26071—2018��GB/T26071—2010����������犕...
ICS29.045H83中华人民共和国国家标准GB/T30866—2014碳化硅单晶片直径测试方法Testmethodformeasuringdiameterofmonocrystallinesiliconcar...
ICS29.045H83中华人民共和国国家标准GB/T30867—2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法Testmethodformeasuringthicknessandtotalthickn...

